亚洲精品色情APP在线下载观看-亚洲精品色播一区二区-亚洲精品入口一区二区乱麻豆精品-亚洲精品日韩在线观看视频-果冻传媒MV免费播放在线观看-果冻传媒mv国产陈若瑶主演

全國服務熱線

0917-312584915891077471

鈦合金鍛件·鈦合金棒鈦加工件生產制造商
鉻靶在半導體電子等領域的應用優缺點分析
搜索:
當前所在位置:首頁 >> 新聞資訊 >> 行業資訊

鉻靶在半導體電子等領域的應用優缺點分析

發布時間 :2021-06-07 21:21:43 瀏覽次數 :

鉻靶材料的技術發展趨勢與下游應用行業薄膜技術的發展趨勢密切相關。 隨著應用行業中薄膜產品或組件技術的進步,鉻靶目標技術也應隨之改變。

微電子領域:在所有應用行業中,半導體行業對目標濺射膜鉻靶的質量要求較為嚴格。 現在,已經制造出12英寸(300插槽)的硅晶片。 但是,互連線的寬度正在減小。鉻靶價格、鉻靶批發制造商對鉻靶的要求是大尺寸,高純度,低偏析和細晶粒,這要求所制造的鉻靶具有更好的微觀結構。 鉻靶的結晶粒徑和均勻性被認為是影響膜沉積速率的關鍵因素。 另外,薄膜的純度與靶材的純度有很大的關系。 

鉻靶

過去,純度為99.995%(4N5)的銅靶材可以滿足鉻靶價格、鉻靶批發制造商對0.35pm工藝的需求,但不能滿足當前0.25um工藝要求。 對于0.18um技術甚至0.13m工藝,要求的目標純度須達到5甚至6N或更高。 與鋁相比,銅具有更高的耐電遷移性和較低的電阻率。

鉻靶導體技術需要低于0.25um的亞微米布線,但帶來了其他問題:銅與有機介電材料之間的粘合強度低。 而且它很容易反應,導致芯片的銅互連在使用過程中被腐蝕和斷開。 為了解決這些問題,需要在銅和電介質層之間設置阻擋層。 阻擋層材料通常使用具有高熔點和高電阻率的金屬及其化合物。

鉻靶生產廠家告訴你,勢壘層的厚度要求小于50nm,并且對銅和電介質材料的粘附性能良好。 銅互連和鋁互連的阻擋層材料不同。 需要開發新的目標材料。 銅互連阻擋層的目標材料包括Ta,W,TaSi,WSi等。但是Ta和W都是難熔金屬。 生產相對困難。 如今,正在研究鉬,鉻靶等作為替代材料。

相關鏈接

在線客服
客服電話

全國免費服務熱線
0917 - 3125849
掃一掃

bjjwtai.com
巨偉鈦業手機網

返回頂部
主站蜘蛛池模板: 日本69xx 老师 | 国产人A片777777久久 | 日韩精品无码久久一区二区三 | 少妇被躁爽到高潮无码久久 | 风月宝鉴之淫乱英雄传 电影 | 黑人操白逼 | 国产在线一区二区三区四区 | 97超级碰碰人妻中文字幕 | 久草在线在线精品观看99 | 国产短视频精品区 | 日本19禁啪啪吃奶大尺度 | 99国产精品成人免费视频 | 亚洲中文字幕乱倫在线 | 欧美日韩精品久久久免费观看 | 久久综合狠狠综合狠狠 | 亚洲粉嫩美白在线 | 无码人妻丰满熟妇啪啪网不卡 | 欧美精品成人一区二区在线观看 | 亚洲国产第一 | 奇虎成人网 | 黄色三级在线观看 | 久久99re8热在线播放 | 手机看片国产免费久久网 | 早乙女由依在线观看 | 97人妻丰满熟妇AV无码 | 国产黄a三级三级三级 | 爽死你个放荡粗暴小淫货漫画 | 久久久91精品国产一区二区 | 一本二卡三卡四卡乱码麻豆 | 亚洲精品乱码一区二区三区 | 放射源分类办法 | 亚洲天堂2017无码 | 久久国内精品视频 | 国产精品99久久久精品无码 | 久久视频这里只精品99热在线观看 | 亚洲男人97色综合久久久 | 欧美一第一页草草影院 | 国产三区在线成人AV | 亚洲日韩乱码人人爽人人澡人 | 91精品在线国产 | 久草在线福利视频在线播放 |